2018年第79回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(ポスター講演)

15 結晶工学 » 15.5 IV族結晶,IV-IV族混晶

[19p-PB7-1~7] 15.5 IV族結晶,IV-IV族混晶

2018年9月19日(水) 16:00 〜 18:00 PB (白鳥ホール)

16:00 〜 18:00

[19p-PB7-5] 極薄AlN中間層を用いたエピタキシャルグラフェン上Si薄膜成長

〇(M2)寺井 汰至1、石丸 大樹1、鎌田 裕太1、竹内 智哉1、橋本 明弘1 (1.福井大工)

キーワード:Si薄膜成長、グラフェン