2018年第79回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

21 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」 » 21 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」(ポスター)

[19p-PB8-1~23] 21 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」(ポスター)

2018年9月19日(水) 16:00 〜 18:00 PB (白鳥ホール)

16:00 〜 18:00

[19p-PB8-9] 縮退した多結晶AZO透明導電膜における粒界の不規則性を考慮した粒界散乱

宮田 俊弘1、南 内嗣1 (1.金沢工大)

キーワード:透明導電膜、AZO、スパッタ