[20a-133-1~8] 16.3 シリコン系太陽電池

△ [20a-133-5] 太陽電池用Cz-Siの結晶成長条件が熱処理後の酸素析出および転位形成に与える影響

〇(M2)木下 晃輔¹、小島 拓人¹、大西 康平¹、大下 祥雄²、小椋 厚志¹ (1.明治大理工、2.豊田工大)

キーワード：シリコン、太陽電池、酸素析出物

単結晶Siは多結晶に比べてキャリア寿命が長いことなどから、次世代太陽電池への適用が期待されている。Cz法で育成したSi結晶は、製造時に酸素が混入し、熱プロセスにより酸素析出が進行し、変換効率低下の原因になる。そのため、太陽電池の性能向上には酸素析出挙動を理解し、制御することが重要である。本研究では、結晶成長条件の異なるウェーハを用意し、熱処理に伴う酸素析出および転位形成がキャリア寿命に与える影響を評価した。