[20a-133-1~8] 16.3 Bulk, thin-film and other silicon-based solar cells

△ [20a-133-6] Effect of Oxygen Precipitates on Metal Gettering in Cz-Si for Photovoltaic (2)

〇(M1)Kouhei Onishi¹, Takuto Kojima¹, Kosuke Kinoshita¹, Yoshio Ohshita², Atsushi Ogura¹ (1.Meiji Univ., 2.Toyota Tech. Inst.)

Keywords:solar cell, Oxygen precipitates, Crystal growth condition

結晶シリコン太陽電池の高効率化に伴い単結晶Cz-Si の利用が進む一方で、プロセス工程における酸素析出によるライフタイム劣化が課題となっている。また、太陽電池製造プロセス等で混入する金属不純物も、変換効率低下要因となる。金属不純物の除去にはゲッタリングが用いられるが、酸素析出物もまた金属のゲッタリングサイトとして知られている。したがって、金属汚染時における、酸素析出とゲッタリングの関係を理解することが重要である。
本報告では、酸素析出を伴う金属汚染に対するリンゲッタリング(PDG)の効果を、結晶成長条件の異なるウェーハを用いて検証した。