[20a-133-1~8] 16.3 シリコン系太陽電池

△ [20a-133-6] 太陽電池用Cz-Siにおける酸素析出が金属ゲッタリングに与える影響 (2)

〇(M1)大西 康平¹、小島 拓人¹、木下 晃輔¹、大下 祥雄²、小椋 厚志¹ (1.明治大学、2.豊田工業大学)

キーワード：太陽電池、酸素析出物、結晶成長条件

結晶シリコン太陽電池の高効率化に伴い単結晶Cz-Si の利用が進む一方で、プロセス工程における酸素析出によるライフタイム劣化が課題となっている。また、太陽電池製造プロセス等で混入する金属不純物も、変換効率低下要因となる。金属不純物の除去にはゲッタリングが用いられるが、酸素析出物もまた金属のゲッタリングサイトとして知られている。したがって、金属汚染時における、酸素析出とゲッタリングの関係を理解することが重要である。
本報告では、酸素析出を伴う金属汚染に対するリンゲッタリング(PDG)の効果を、結晶成長条件の異なるウェーハを用いて検証した。