11:30 〜 11:45
△ [20a-133-8] ブラックシリコンのキャリア分布評価に向けた非線形誘電率顕微鏡法の適用可能性の検討
キーワード：非線形誘電率顕微鏡法、ブラックシリコン、キャリア
ブラックシリコンのキャリア分布評価を非線形誘電率顕微鏡法(SNDM)によって行うことが可能であることを確かめた．ブラックシリコンとフラットな構造のシリコンの断面をSNDMによって計測し，比較を行った結果，ブラックシリコンの針状構造から基板にかけてドーパントが拡散している様子を観察することができた．
一般セッション(口頭講演)
16 非晶質・微結晶 » 16.3 シリコン系太陽電池
2018年9月20日(木) 09:30 〜 11:45 133 (133+134)
白澤 勝彦(産総研)
11:30 〜 11:45
キーワード：非線形誘電率顕微鏡法、ブラックシリコン、キャリア