[20a-133-1~8] 16.3 Bulk, thin-film and other silicon-based solar cells

△ [20a-133-8] Feasibility Study on Carrier Distribution Evaluation of Black Silicon by Scanning Nonlinear Dielectric Microscopy

〇(M1)Kento Kakikawa¹, Yasuo Cho¹ (1.RIEC Tohoku Univ.)

Keywords:SNDM, Black Silicon, Carrier

ブラックシリコンのキャリア分布評価を非線形誘電率顕微鏡法(SNDM)によって行うことが可能であることを確かめた．ブラックシリコンとフラットな構造のシリコンの断面をSNDMによって計測し，比較を行った結果，ブラックシリコンの針状構造から基板にかけてドーパントが拡散している様子を観察することができた．