[20a-135-1~9] 16.1 基礎物性・評価・プロセス・デバイス

[20a-135-2] Mg添加ZnOマイクロ薄膜の励起子誘導放出過程

〇藤井 柊介¹、安達 裕²、内野 隆司¹ (1.神大理、2.物材機構)

キーワード：酸化亜鉛、誘導放出

近年，我々は酸化亜鉛薄膜の光励起に伴う誘導放出過程が膜厚の増大 (µm以上)に伴い電子正孔プラズマ発光を含まない励起子発光のみに由来する過程へと変化することを報告した。本研究ではMgを微量添加したZnO薄膜 (膜厚µm以上)の励起子誘導放出過程の温度依存性，励起フルエンス依存性について解析した。その結果，励起子-励起子散乱過程から励起子-電子散乱過程への移行温度がMg添加により上昇することが分かった。