[20a-141-1~13] 15.6 IV族系化合物（SiC）

△ [20a-141-6] 高濃度ボディ層を有するSiC MOSFETのゲート特性に着目した界面準位密度評価

〇伊藤 滉二¹、小林 拓真¹、堀田 昌宏¹、須田 淳¹、木本 恒暢¹ (1.京大院工)

キーワード：MOS