[20a-143-1~8] 11.1 Fundamental properties

[20a-143-1] Fabrication and characterization of a cylindrical high-T_c superconductor Bi₂Sr₂CaCu₂O_8+δ terahertz wave emitter by wet etching process ２

〇Yuuki Tanabe¹, Takanari Kashiwagi¹, Takayuki Imai¹, Kazuya Murayama¹, Ryusei Ohta¹, Genki Kuwano¹, Kento Nakamura¹, Yukino Ono¹, Yota Kaneko¹, Shinji Kusunose¹, Shungo Nakagawa¹, Manabu Tsujimoto¹, Takashi Yamamoto², Hidetoshi Minami¹, Kazuo Kadowaki¹ (1.Tsukuba Univ., 2.QuTech, TU Delft.)

Keywords:High-Tc superconductor, Terahertz wave, Josephson effect

高温超伝導体Bi₂Sr₂CaCu₂O_8+δをメサ構造に加工し、c軸方向に電圧を印加することによりテラヘルツ帯の電磁波を得ることができる。特に、円盤型素子からは0.5-2.4 THzという広帯域発振が観測されている。また最近は、酸の溶液を用いたウエットエッチング法による素子作製が行われている。本発表では、従来のウエットエッチング法よりも排熱性が向上した素子作製工程、また直径サイズの異なる円盤型素子での発振特性の違いについて議論する。