[20a-146-1~12] 15.4 III-V族窒化物結晶

[20a-146-5] BGaN-MOVPE法における脱離過程の解析

〇江原 一司¹、望月 健¹、井上 翼¹、青木 徹²、小島 一信³、秩父 重英^3,4、中野 貴之¹ (1.静大院、2.静大電研、3.東北大多元研、4.名大IMaSS)

キーワード：BGaN、MOVPE