[20a-212B-1~7] 11.4 Analog applications and their related technologies

△ [20a-212B-4] Study on fabrication of HTS nano-bridges by Ga-FIB

〇Teppei Ueda¹, Kanji Hayashi¹, Seichiro Ariyoshi¹, Saburo Tanaka¹ (1.Toyohashi Univ. of Technol.)

Keywords:Josephson Junction, ion irradiation, SQUID

高温超伝導SQUIDでは、結晶粒界を用いたバイクリスタル型ジョセフソン接合（JJ）が一般的に用いられている。しかし、バイクリスタル型JJは粒界上にのみ作製可能であるため、設計自由度や配置個数が制限されるなどの課題がある。そこで、低ノイズSQUID作製法として、Ga-FIB照射による欠陥生成を応用したナノブリッジ作製技術を検討した。また、Ga-FIB照射で必須となるSIM観察時の欠陥導入を、Au保護層により防止する手法を検討した。