[20a-222-1~12] 6.3 酸化物エレクトロニクス

△ [20a-222-6] パルス電圧を用いた電圧記録型メモリにおけるメモリ動作

〇(M1)渡邊 佑紀¹、小林 成¹、清水 亮太^1,2、西尾 和記¹、リウ ウェイ³、渡邉 聡³、一杉 太郎¹ (1.東工大物質理工、2.JSTさきがけ、3.東大工)

キーワード：メモリデバイス、界面、Liイオン伝導体

次世代メモリ研究が活発に行われる中、我々はLi/Li₃PO₄/Au構造をもつ電圧記録型メモリを報告した。先の講演会では、Auの代わりにNiを用いて多値化と低消費電力動作を実現した。しかし、理論計算ではスイッチングに要するLi移動量は原子層程度で十分とされ、消費電力の更なる低減が期待される。本研究では、従来の電圧掃引ではなくパルス信号によるスイッチングを試み、記録電圧のLi移動量依存性を検証した。