[20a-222-1~12] 6.3 酸化物エレクトロニクス

△ [20a-222-9] 化学状態の非破壊ナノイメージングを可能にする光電子顕微鏡開発

〇(M1)奥田 裕司^1,2,3、川北 純平^2,3、谷内 敏之^2,3、島 久^2,4、清水 敦史^1,4、内藤 泰久^2,4、秋永 広幸^2,4、木下 健太郎¹、辛 埴^2,3 (1.東京理科大学、2.産総研・東大 OIL、3.東大物性研、4.産総研ナノエレ)

キーワード：光電子顕微鏡、メモリ、酸化タンタル

従来の光電子顕微鏡による化学状態観測は非破壊性と分解能がトレードオフの関係にあり、電極に埋もれたデバイス動作を敏感に観測するのは難しいとされていた。そこで、エネルギーの紫外連続波(CW)レーザー(4.66 eV)を用いることにより、観測するこれまでにない高分解能バルク敏感観測が実現された。本講演では、金属界面下のPEEM観測検出深さと空間分解能の関係について議論すると同時にデバイス評価有用性についても議論する。