[20a-224A-1~10] 3.7 Laser processing

[20a-224A-10] Effects of Surface Roughness on Femtosecond Laser Ablation Processes

〇Shuntaro Tani¹, Yohei Kobayashi¹ (1.ISSP, Univ. Tokyo)

Keywords:Laser ablation, Laser processing, Surface roughness

表面の凸凹がアブレーション過程に与える影響をを明らかにするため、レーザーアブレーションによる3次元形状変化をナノメートルオーダーの精度で測定する装置をもちいて、表面粗さとアブレーション結果を系統的に測定した。