[20a-224A-1~10] 3.7 レーザープロセシング

[20a-224A-10] フェムト秒レーザーアブレーション過程の表面粗さ依存性

〇谷 峻太郎¹、小林 洋平¹ (1.東大物性研)

キーワード：レーザーアブレーション、レーザー加工、表面粗さ

表面の凸凹がアブレーション過程に与える影響をを明らかにするため、レーザーアブレーションによる3次元形状変化をナノメートルオーダーの精度で測定する装置をもちいて、表面粗さとアブレーション結果を系統的に測定した。