[20a-224A-1~10] 3.7 レーザープロセシング

[20a-224A-8] 直交偏光したフェムト秒レーザーパルス対照射で形成されるジルコニアセラミックスの表面周期構造; 構造周期の遅延依存性

〇欠端 雅之¹、屋代 英彦¹、鳥塚 健二¹ (1.産総研　電子光)

キーワード：フェムト秒レーザー、ジルコニアセラミックス、表面周期構造

イットリア安定化正方晶ジルコニア多結晶体(3Y-TZP)は優れた機械的特性を有するセラミックスであり医療部材や機械部材に用いられる。直交する偏光を持つダブルパルス照射でジルコニア表面に形成される微細周期構造について、構造周期、アブレーション深さ、面積等のパラメータが二つのパルスのフルエンスや遅延時間に対してどのように依存するか評価した。