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△ [20a-224B-11] InP系化合物半導体中のはじき出し閾値エネルギーの材料依存性
キーワード:はじき出し閾値エネルギー、InP系化合物半導体、照射損傷
照射損傷の理論では、はじき出し閾値エネルギー(Ed)は、慣例的に元素よって決定されていたが、InP、InGaP、AlInGaPにおいて、それぞれのPのEdが従来の9 eVではなく、7.7、 4、および3.5 eVであることが実験結果より示された。本研究では、Edの変化した要因を解明するため、第一原理計算によりPの結合エネルギー(EB)を算出した。計算結果よりInP系のEdの材料依存性は、EBではなくジャンプエネルギーの影響が大きいと示唆された。