[20a-234B-1~10] 22.1 合同セッションM 「フォノンエンジニアリング」

[20a-234B-5] パルス光加熱サーモリフレクタンス法による薄膜熱拡散率および界面熱抵抗の評価

〇馬場 貴弘¹、石川 佳寿子¹、馬場 哲也² (1.株式会社ピコサーム、2.産業技術総合研究所)

キーワード：サーモリフレクタンス、界面熱抵抗

パルス光加熱サーモリフレクタンス法は薄膜の熱拡散率の測定に広く用いられている．熱拡散率のような熱物性値は，観測されたサーモリフレクタンス信号に解析式を用いたフィッティングを行うことにより求められる．よって，適した解析式を導き出すための数学モデルの選択は重要である．本研究では繰り返しパルス加熱と界面熱抵抗の影響を考慮した新しいモデルを提案する．