[20a-437-1~11] 8.3 プラズマナノテクノロジー

[20a-437-2] 金ナノ粒子触媒被覆シリコンの低ダメージラジカル窒化 -光照射効果-

〇北嶋 武¹、本田 昂平¹、中野 俊樹¹ (1.防大電気)

キーワード：プラズマ、ナノ粒子、触媒