[20a-437-1~11] 8.3 プラズマナノテクノロジー

[20a-437-8] プラズマCVDによる窒化ホウ素合成における原料と触媒の影響

〇白鳥 達也¹、高見 拓哉¹、三浦 拓也¹、柳瀬 隆²、長浜 太郎²、山本 靖典²、島田 敏宏² (1.北大院総化、2.北大院工)

キーワード：窒化ホウ素、プラズマCVD

窒化ホウ素には、グラファイトやダイヤモンドの類縁構造をとるh-BNやc-BNなどが存在する。また、カーボンナノチューブと類似した構造をとる窒化ホウ素ナノチューブの合成も行われており、優れた熱伝導性や絶縁性などの性質から応用が期待されている。我々は原料ガスを容易に活性化できるプラズマCVDに着目し、比較的安全なボラジン系化合物を原料としてプラズマCVDによるBNの合成を試み、合わせてナノチューブ成長触媒の探索を行った。