[20a-PA1-1~11] 7 ビーム応用（ポスター）

[20a-PA1-11] Arクラスター照射によるDNA/Si-MOSFETへの影響

〇中野 響¹、松尾 直人¹、部家 彰¹、山名 一成¹、高田 忠雄¹、盛谷 浩右¹、乾 徳夫¹、佐藤 佑¹、佐藤 旦²、横山 新² (1.兵県立工、2.広島大ナノデバイス研)

キーワード：半導体、DNA、MOSFET