[20a-PA1-1~11] 7 ビーム応用（ポスター）

[20a-PA1-5] 電子ビーム照射された絶縁体試料表面電位分布の負バイアス依存性

〇西村 将太¹、水野 秀哉¹、久保 建統¹、小寺 正敏¹ (1.大阪工大工)

キーワード：走査電子顕微鏡、電子ビーム