[20a-PA1-1~11] 7 ビーム応用（ポスター）

[20a-PA1-9] アルミニウム多価イオン生成に向けた電子サイクロトロン共鳴イオン源におけるミラー磁場の最適化

〇(B)河野 星希¹、山田 真司¹、中村 翼¹、浅池 豊久²、古瀬 宗雄¹ (1.大島商船高専、2.富山高専)

キーワード：ECRイオン源、ミラー磁場、アルミニウム多価イオン

近年, 不純物をドーピングするイオン注入は不可欠な技術となっている。その中でもパワー半導体市場が急速に伸びており，イオン注入業界では装置の加速電圧を下げるため，多価イオンを利用する研究が進んでいる。そこで本研究では，アルミニウム多価イオンを生成するにあたり, その最適条件を検証するとともにイオン価数における，ミラー磁場の影響やその最適化等についても検証を行う。