[20a-PA4-1~12] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[20a-PA4-7] 硬X線分光法を用いたMgSi/Siヘテロ接合バンドオフセット評価

〇唐鎌 亮太¹、岩波 悠太¹、呉 研¹、角嶋 邦之²、高橋 芳浩¹ (1.日大理工、2.東工大)

キーワード：硬X線分光法、トンネルFET、MgSi/Si