[20a-PA5-1~14] 13.3 絶縁膜技術

[20a-PA5-1] 多様な結晶構造を有するSiO₂膜へのH₂O分子透過

〇奥 友希¹、戸塚 正裕¹、佐々木 肇¹ (1.三菱電機)

キーワード：酸化シリコン、耐湿性、分子軌道計算法

我々は、半経験的分子軌道計算法により、SiO₂結晶（高温型クリストバライト、高温型トリデサイト、高温型石英）へのH₂O分子の浸透を計算し、拡散障壁と透過障壁の値を導出した。 その結果、障壁は結晶構造と面方位の両方に依存することがわかった。 このことは、結晶構造および表面配向を最適化することによってSiO₂結晶の耐湿性を改善できることを示している。