[20a-PA5-1~14] 13.3 絶縁膜技術

[20a-PA5-11] マイクロ波プラズマを用いたSi基板上へのSiN薄膜の形成及び特性改善

〇小川 隼平¹、黒田 達也¹、加藤 那征¹、丹羽 一宏¹、石崎 博基¹ (1.埼工大工)

キーワード：シリコン窒化膜、ゲート絶縁膜、マイクロ波プラズマ