[20a-PB3-1~14] 3.9 Terahertz technologies

[20a-PB3-12] THz imaging system using MEMS bolometer and THz-QCL

〇Isao Morohashi¹, Ya Zhang², Boqi Qiu³, Yoshihisa Irimajiri¹, Norihiko Sekine¹, Iwao Hosako¹, Kazuhiko Hirakawa³ (1.NICT, 2.Univ. Agri. & Tech., 3.Univ. Tokyo)

Keywords:MEMS bolometer, Quantum cascade laser, Terahertz imaging

THzイメージング技術は、セキュリティや非破壊検査等で注目され、産業応用に向けたシステムの開発が行われている。近年、MEMS共振器構造をもつボロメーター型テラヘルツ検出器が開発され、小型、高感度かつ高速のテラヘルツ検出器として期待されている。本研究では、テラヘルツ帯量子カスケードレーザー(THz-QCL)およびMEMS共振器構造ボロメーターを用いたテラヘルツイメージングの開発を目的としている。