[20a-PB3-1~14] 3.9 テラヘルツ全般

[20a-PB3-12] THz-QCLおよびMEMS共振器構造ボロメーターを用いたテラヘルツイメージングシステムの開発

〇諸橋 功¹、張 亜²、邱 博奇³、入交 芳久¹、関根 徳彦¹、寳迫 巌¹、平川 一彦³ (1.情通機構、2.農工大、3.東大生研)

キーワード：MEMS共振器構造ボロメーター、量子カスケードレーザー、テラヘルツイメージング

THzイメージング技術は、セキュリティや非破壊検査等で注目され、産業応用に向けたシステムの開発が行われている。近年、MEMS共振器構造をもつボロメーター型テラヘルツ検出器が開発され、小型、高感度かつ高速のテラヘルツ検出器として期待されている。本研究では、テラヘルツ帯量子カスケードレーザー(THz-QCL)およびMEMS共振器構造ボロメーターを用いたテラヘルツイメージングの開発を目的としている。