[20a-PB8-1~9] 6.1 Ferroelectric thin films

[20a-PB8-7] Influence of Oxygen Flow Rate on Optical Properties of High Quallity BiFeO₃ Thin Films

〇Hiromi Shima¹, Tomohiro Ichinose², Hiroshi Naganuma², Toshihisa Kamei¹ (1.National Defense Academy, 2.Tohoku Univ.)

Keywords:multiferroic, spectroscopic ellipsometry, high refractive index

RFマグネトロンスパッタ法により酸素流量の異なるエピタキシャルBiFeO₃薄膜を作製し、その光学特性を分光エリプソメーターにより評価した。その結果、同じ化学量論組成の膜にもかかわらず屈折率が変化するという結果が得られ、酸素流量が膜質に与える影響が大きいことが示唆された。