[20a-PB8-1~9] 6.1 強誘電体薄膜

[20a-PB8-7] 高品質BiFeO₃薄膜の光学特性における酸素流量の影響

〇島 宏美¹、一ノ瀬 智浩²、永沼 博²、亀井 利久¹ (1.防衛大、2.東北大)

キーワード：マルチフェロイック、分光エリプソメトリー、高屈折率

RFマグネトロンスパッタ法により酸素流量の異なるエピタキシャルBiFeO₃薄膜を作製し、その光学特性を分光エリプソメーターにより評価した。その結果、同じ化学量論組成の膜にもかかわらず屈折率が変化するという結果が得られ、酸素流量が膜質に与える影響が大きいことが示唆された。