[20a-PB9-1~14] 6.2 カーボン系薄膜

[20a-PB9-13] XRTによるダイヤモンドp+ HPHT結晶中の転位と積層欠陥の観察

〇明石 直也¹、鹿田 真一¹ (1.関学大理工)

キーワード：ダイヤモンド

ダイヤモンド省エネルギー縦型パワーデバイスを目指す上で低欠陥、低抵抗ウェハの作製が重要である。エピタキシャル成長の基板として、成長層と不純物濃度の差から格子不整合による歪が生じにくいp+ HPHT種結晶のX線トポグラフィ観察を進めている。本発表では、過去に観察した結果には見られなかった積層欠陥と転位の関連を観察したので報告する。