[20a-PB9-1~14] 6.2 カーボン系薄膜

[20a-PB9-2] 薬品耐性を有する絶縁性DLCコーティング

〇中島 大地¹、桒原 大樹²、安中 茂²、辻岡 正憲³、森口 秀樹³、藤井 慎也³、平栗 健二¹ (1.東京電機大院、2.仲代金属、3.日本アイ・ティ・エフ)

キーワード：ダイヤモンド状炭素膜、薄膜絶縁材料、絶縁破壊強度

DLCは高硬度、耐摩耗性、低摩擦係数などの優れた特性を有することから工業分野で広く活用されている。一方で、高い電気抵抗率を有しており、熱伝導率も良いことからSiO₂に代わる層間絶縁膜としても期待されている。しかし、DLCの絶縁耐圧などは未知なことが多く、十分な実用化には至っていない。本研究では、Cu基板およびAl基板にDLCを成膜しその絶縁耐圧を測定した。半導体製造工程で使用される薬品を想定した薬品耐性の調査を行った。