[20a-PB9-1~14] 6.2 カーボン系薄膜

[20a-PB9-4] Si含有DLC膜の局所構造解析

〇神田 一浩¹、鈴木 就斗¹、新部 正人¹、長谷川 孝行^1,2、斎藤 秀俊³ (1.兵庫県大高度研、2.SALLC、3.長岡技大)

キーワード：アモルファス炭素膜、シリコン含有DLC膜、X線吸収端近傍微細構造

ニュースバル放射光施設のBL05A、BL09Aを用いて、組成の異なる様々なSi-DLC膜のSi K端およびC K端の吸収端近傍微細構造（NEXAFS）スペクトルを測定した。Si/C比の増加により、C-C結合のみで形成されたC原子はSiと結合することで大きく化学シフトを受けるが、Siはこの範囲の組成比ではSi-C結合のみを生成し、Si-Si結合の影響は無視して良いことがわかった。