[20a-PB9-1~14] 6.2 カーボン系薄膜

[20a-PB9-6] ベンゼン-N₂-Ar混合気体の高周波プラズマCVDによる高窒素含有a-CN_x:H薄膜の作製と構造解析

〇家老 克徳¹、飯澤 仁規¹、斎藤 秀俊¹、伊藤 治彦¹ (1.長岡技科大工)

キーワード：プラズマCVD、薄膜、窒化炭素