The 79th JSAP Autumn Meeting, 2018

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Symposium (Oral)

Symposium » Trends of ferroelectric HfO2 technologies

[20p-141-1~13] Trends of ferroelectric HfO2 technologies

Thu. Sep 20, 2018 1:30 PM - 6:30 PM 141 (141+142)

Tomoaki Yamada(Nagoya Univ.), Shosuke Fujii(Toshiba Memory)

3:30 PM - 3:45 PM

[20p-141-6] STEM-EELS analysis of polar orthorhombic phase of Hafnia-based thin films

Takanori Kiguchi1, Takahisa Shiraishi1, Takanori Mimura2, Takao Shimizu2, Hiroshi Funakubo2, Toyohiko J. Konno1 (1.Tohoku Univ., 2.Tokyo Tech.)

Keywords:hafnia, electron energy loss spectroscopy, scanning transmission electron microscopy

本講演では、このYHO薄膜中における結晶相やドメイン構造の評価にSTEM-EELS法による局所状態分析を取り入れることによって、イメージングだけでは捉えることのできない結晶構造異方性、つまりドメイン配向や共存する単斜晶相の判別や結合状態の相違点について検討した結果について報告する。