[20p-143-1~12] 11.2 薄膜，厚膜，テープ作製プロセスおよび結晶成長

△ [20p-143-1] Vapor-Liquid-Solid成長法を用いて作製したSmBa₂Cu₃O_y線材の厚膜化の検討

〇伊東 智寛¹、土屋 雄司¹、一野 祐亮¹、吉田 隆¹ (1.名大工)

キーワード：超伝導、薄膜

REBa₂Cu₃O_yを広く応用するためには、線材作製コストの抑制が必要不可欠である。我々は、Vapor-Liquid-Solid(VLS)成長法と呼ばれる作製手法を用いて、高速成膜かつ高結晶配向性を維持した線材を作製することによる低コスト化を目指した。このVLS成長法を使用することにより、成膜速度27.5 nm/sec、膜厚 1.7 µm、臨界電流密度1.67 MA/cm²を達成した。また、更なるI_c向上を達成するため7.9µmまで厚膜化を行った結果、高い結晶配向性を維持した線材の作製に成功した。