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[20p-144-10] セルロースナノペーパー(CNP)上への多結晶Si-TFT作製への挑戦
--- 基盤技術への取り組みについて ---
キーワード：Si-TFT、セルロースナノペーパー、低温作製
Poly-Si TFのセルロースナノペーパー(CNP)上への作製を検討している。CNPの劣化なしに良好なTFTを作製することは難しいが、Siの持つ魅力的な特性を生かすべく、以下の基盤技術を検討している。1) より低温の結晶化に、結晶化誘発YSZ膜の採用とパルスレーザアニールによる固相結晶化、2) 200℃で堆積した酸化Si膜中に存在する残留OH結合の150℃程度のアニール処理による除去、である。