[20p-144-1~12] Poly-Si TFTのルネサンスと新展開

[20p-144-2] ＬＴＰＳ研究のレビュー＆IV族半導体の低温成長

〇松尾 直人¹ (1.兵庫県立大工)

キーワード：低温ポリシリコン、トンネル薄膜トランジスタ、水素結晶化促進

LTPSを活性領域に応用した薄膜トランジスタ（Thin-film transistors: TFTs）はシステム・オン・ガラスにとり非常に重要な技術である。LTPSはディスプレー領域の画素制御トランジスタと周辺コンピュータ形成領域に使われる。LTPSが満足すべき条件は，高品質，大粒径，粒形成位置の制御である。これらの要求を満たす為，多くの有望な低温結晶化法が提案されてきた。本講演ではレビューの後，我々が取り組んできた，低温結晶化（ELA, SXC），トンネル型TFTにも触れる。