[20p-144-1~12] Poly-Si TFTのルネサンスと新展開

[20p-144-3] CWレーザー結晶化による無粒界(100) Si 薄膜成長

〇佐々木 伸夫^1,2 (1.Sasaki Consulting、2.奈良先端大)

キーワード：低温ポリシリコン薄膜、レーザ結晶化、結晶成長

CW レーザーラテラル結晶化技術(CLC)について、従来のCLC技術から、最近の無粒界(100)配向CLC技術への進展を中心に紹介する。