[20p-212B-1~14] 11.4 Analog applications and their related technologies

△ [20p-212B-2] Study on line width dependence of NbN based MKID arrays

〇Shun Negishi¹, Seiichiro Ariyoshi¹, Hikaru Mikami¹, Satoru Hashimoto¹, Kensuke Nakashima², Hirotaka Terai³, Saburo Tanaka¹ (1.Toyohashi Univ. of Technol., 2.Yamagata Univ., 3.NICT)

Keywords:terahertz wave, microwave kinetic inductance detector, superconductivity

THz波は，電波の透過性と光波の直進性を兼ね備えており，物体の非破壊イメージングへの応用が期待されている．量子型検出器である力学インダクタンス検出器（MKID）は単層膜で作製でき，周波数分割による多画素同時読出しが可能なため，アレイ化が容易という利点がある．本研究では，窒化ニオブを用いた検出器の開発を行っており，共振器形状に着目し電磁界解析による設計と，作製による高感度なMKIDの実現を目的とした．