[20p-223-1~11] アトミックレイヤープロセスの現状と展望

[20p-223-6] アトミックレイヤーエッチング：その科学と技術

〇浜口 智志¹、伊藤 智子¹、磯部 倫郎¹、唐橋 一浩¹ (1.阪大工)

キーワード：アトミックレイヤーエッチング、ALE、自己停止

本講演では、ALEの概要を紹介したのち、ALEに不可欠な自己停止機構の物理的・化学的メカニズムについて議論する。自己停止機構は、エッチング対象となる物質と使用するプロセスによって大きく異なるため、近年、実用化が期待されるALE技術を例にあげ、その詳細を議論する。ALEは、高アスペクト比の溝（トレンチ）や穴（ビア）構造に対する非等方的エッチングプロセスばかりでなく、入射イオンの届きにくい構造における等方的なエッチングプロセスとしても期待されている。近年のこうした技術的課題とALEによる解決方法についても、その概要を議論する。