[20p-223-1~11] アトミックレイヤープロセスの現状と展望

[20p-223-8] ガスクラスターイオンビームによる原子層エッチング

〇豊田 紀章¹ (1.兵庫県立大工)

キーワード：原子層エッチング、ガスクラスターイオンビーム、酢酸

ガス吸着・排気・表面層除去を繰返す原子層エッチング（ALE）が注目されている。我々は、数eV/atomの超低エネルギー照射が可能なガスクラスターイオンビーム(GCIB)を用い、ALEへの応用を検討している。GCIBは集団として衝突するため、単原子では実現できない高密度エネルギー付与が可能であり、低温での表面反応促進が期待される。講演では、吸着ガスとして、酢酸やアセチルアセトンを用い、金属薄膜の原子層エッチングへの応用例を報告する。