[20p-234A-1~18] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

△ [20p-234A-9] 時間分解フォトルミネッセンスによるZnOのプロセス誘起欠陥の評価

〇(M1)粕谷 拓生^1,2、嶋 紘平¹、小島 一信^1,2、秩父 重英^1,2 (1.東北大多元研、2.東北大院工)

キーワード：酸化亜鉛、時間分解フォトルミネッセンス

ZnOは室温における禁制帯幅が広く、励起子束縛エネルギーが大きいことから、それらの特徴を生かした光・電子デバイス用材料として期待されている。本講演では、ZnOの加工プロセス前後における表面付近での非輻射再結合過程を時間分解フォトルミネッセンス法により観測した結果を報告する。