[20p-235-1~15] 13.8 Optical properties and light-emitting devices

[20p-235-15] Understanding Room Temperature Optical Activity of Erbium-Oxygen Complex in Silicon

〇Yasuo Shimizu¹, Yuan Tu¹, Ayman Abdelghafar², Yudai Suzuki², Keinan Gi², Takashi Tanii², Takahiro Shinada³, Enrico Prati⁴, Michele Celebrano⁵, Marco Finazzi⁵, Lavinia Ghirardini⁵, Koji Inoue¹, Yasuyoshi Nagai¹ (1.IMR Tohoku Univ., 2.Waseda Univ., 3.CIES Tohoku Univ., 4.IFN-CNR, 5.Politecnico di Milano)

Keywords:erbium, oxygen, atom probe

Siに添加されたErは通信波長帯1.5 µmに相当する不純物準位を形成するため，その発光特性に関する研究が盛んに行われてきた．我々はErと共に酸素を添加することで形成されるErO_x複合体に着目し，原子レベルで元素の実空間分布を得る３次元アトムプローブ法を用いて，これら添加元素の分布を調べてきた．今回は室温フォトルミネッセンスによる発光特性評価と照らし合わせて，Er・酸素注入量と発光強度の関係性を報告する．