[20p-235-1~15] 13.8 光物性・発光デバイス

[20p-235-15] シリコン中におけるエルビウム-酸素複合体の室温での光学的活性の理解

〇清水 康雄¹、涂 远¹、アブデルガファ 愛満²、鈴木 雄大²、魏 啓楠²、谷井 孝至²、品田 高宏³、Prati Enrico⁴、Celebrano Michele⁵、Finazzi Marco⁵、Ghirardini Lavinia⁵、井上 耕治¹、永井 康介¹ (1.東北大金研、2.早大理工、3.東北大CIES、4.IFN-CNR、5.Politecnico di Milano)

キーワード：エルビウム、酸素、アトムプローブ

Siに添加されたErは通信波長帯1.5 µmに相当する不純物準位を形成するため，その発光特性に関する研究が盛んに行われてきた．我々はErと共に酸素を添加することで形成されるErO_x複合体に着目し，原子レベルで元素の実空間分布を得る３次元アトムプローブ法を用いて，これら添加元素の分布を調べてきた．今回は室温フォトルミネッセンスによる発光特性評価と照らし合わせて，Er・酸素注入量と発光強度の関係性を報告する．