[20p-311-1~18] 17.2 グラフェン

[20p-311-13] グラフェンFET作製レジストによるデバイス特性の向上

〇中村 裕子¹、吉村 玲子¹ (1.東芝)

キーワード：グラフェン、FET、レジスト

グラフェンは高感度のセンサー材料として期待されている。グラフェン加工に使用されることの多いノボラック樹脂ベースのレジストはベンゼン環を含み、グラフェンとπ-π結合してグラフェン表面を汚染することが予想される。グラフェン電界効果トランジスターのチャネル部を、ベンゼン環を含まないアクリル樹脂がベースのレジストで加工したところ、ノボラック樹脂ベースのレジスト使用時よりも高い有効移動度が得られた。