[20p-436-1~7] 3.2 材料・機器光学

[20p-436-3] 波長～サブ波長構造付き曲面素子製作のための平面素子曲面化技術２

〇八重樫 健太¹、江畠 佳定¹、松井 繁¹、青野 宇紀² (1.日立ハイテク、2.日立研開)

キーワード：回折格子

我々は MEMS/NEMS (Micro / Nano Electro Mechanical Systems) 素子や光学素子向けに, 微細構造付き平面素子を二次元に曲面化する研究に取り組んでいる. 講演では新規開発した曲面化技術及び試作した凹面回折格子の特性について報告する.