[20p-CE-1~9] GaNのエピタキシャル成長とデバイス科学

[20p-CE-8] GaN系パワーデバイス用ゲート絶縁膜技術

〇渡部 平司¹、山田 高寛¹、野崎 幹人¹、細井 卓治¹、志村 考功¹ (1.阪大院工)

キーワード：GaN、パワーデバイス、ゲート絶縁膜