[20p-CE-1~9] GaNのエピタキシャル成長とデバイス科学

[20p-CE-9] GaN系パワーデバイスの最近の進展と今後の展開

〇須田 淳^1,2 (1.名大院工、2.名大未来研)

キーワード：窒化ガリウム、パワーデバイス、エピタキシャル成長